5Mask

mask是什么意思（什么是4Mask、5Mask、6Mask、8Mask工艺）

mask是什么意思（什么是4Mask、5Mask、6Mask、8Mask工艺）目前，非晶硅阵列基板通用的是5Mask或4Mask工艺，IGZ0金属氧化物阵列基板通用的是5Mask，6Mask或8Mask工艺。 如图1所示为非晶硅或IGZO阵列基板的5Mask工艺，主要用于TN，VA模式，具体步骤包括： 第一道光刻工艺：形成栅电极图形，其主要作为扫描线走线、面板周边配线、端子部金属以及一些标记图案（标记图案用于接下来工序的对位基准)； 第二道光刻工艺：形成半导体图案，即非晶硅...